特許

J-GLOBAL ID：200903069164663502

白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法

発明者： 能代 英之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278657
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130702
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法に関し、その金属膜のパターニングの際に生じる再付着物による汚染を防止すること。【構成】白金又はパラジウムよりなる金属膜13を形成する工程と、前記金属膜13の上にマスク14を形成し、塩素含有ガス又は臭素含有ガスのいずれかとアルゴンガスとを用いるドライエッチングにより、該マスク14に覆われない領域の前記金属膜13を除去する工程と、前記金属膜13の上に付着した塩化物又は臭化物を有機溶剤により除去する工程を含む。

請求項（抜粋）：

白金又はパラジウムよりなる金属膜(13,23)を形成する工程と、前記金属膜(13,23)の上にマスク(14,24)を形成し、塩素含有ガス又は臭素含有ガスのいずれかとアルゴンガスとを用いるドライエッチングにより、該マスク(14,24)に覆われない領域の前記金属膜(13,23)を除去する工程と、前記金属膜(13,23)の上に付着した塩化物又は臭化物を有機溶剤により除去する工程とを有することを特徴とする白金又はパラジウムよりなる金属膜のパターニング方法。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/314

FI (3件)：

H01L 21/306 F ,  H01L 21/302 F ,  H01L 21/302 N

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ドライエツチング後の後処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-201298   出願人：日本電気株式会社