特許
J-GLOBAL ID:200903069176713564

動圧軸受装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石橋 佳之夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-271666
公開番号(公開出願番号):特開2001-090733
出願日: 1999年09月27日
公開日(公表日): 2001年04月03日
要約:
【要約】【課題】 動圧軸受の潤滑オイルの液面の位置を正確に調整、管理することができ、オイル漏れや焼き付きの起こらない動圧軸受装置の製造方法を得る。【解決手段】 軸1と軸受4との相対回転による動圧作用により軸1を相対回転可能に支持するようにした動圧軸受装置の製造方法において、顕微鏡51から得られる画像から合焦位置を求める自動合焦装置を用い、顕微鏡51の対物レンズを移動させて、軸受4の軸方向における端面と、軸1と軸受4との間に形成される潤滑オイル6の液面とのそれぞれの合焦位置を求め、それぞれの合焦位置における対物レンズの位置差から軸受4の軸方向における端面に対する潤滑オイル6の液面の位置を求め、潤滑オイル6の液面位置を所定の位置とする。
請求項(抜粋):
軸とこの軸を相対回転可能に支持する軸受とを備え、上記軸と軸受の一方に動圧発生用溝を形成して動圧軸受部を形成するとともに、上記動圧軸受部に潤滑オイルを充填し、上記軸と軸受との相対回転による動圧作用により上記軸を相対回転可能に支持するようにした動圧軸受装置の製造方法において、顕微鏡から得られる画像から合焦位置を求める自動合焦装置を用い、上記顕微鏡の対物レンズを移動させて、上記軸受の軸方向における端面と、上記軸と軸受との間に形成される上記潤滑オイルの液面とのそれぞれの合焦位置を求め、上記それぞれの合焦位置における上記対物レンズの位置差から上記軸受の軸方向における端面に対する上記潤滑オイルの液面の位置を求め、上記潤滑オイルの液面位置を所定の位置とすることを特徴とする動圧軸受装置の製造方法。
IPC (5件):
F16C 33/14 ,  F16C 17/10 ,  F16C 33/10 ,  G01F 23/292 ,  G01C 3/06
FI (5件):
F16C 33/14 Z ,  F16C 17/10 A ,  F16C 33/10 Z ,  G01C 3/06 P ,  G01F 23/28 A
Fターム (16件):
2F014FA04 ,  2F014FA10 ,  2F112AB05 ,  2F112AB10 ,  2F112BA06 ,  2F112CA07 ,  2F112CA12 ,  2F112DA05 ,  2F112FA03 ,  3J011BA04 ,  3J011CA01 ,  3J011CA02 ,  3J011DA02 ,  3J011JA02 ,  3J011KA04 ,  3J011MA24
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 軸受のシール装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-319697   出願人:株式会社三協精機製作所
  • 特開平3-135717
  • 光学測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-320897   出願人:オリンパス光学工業株式会社
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