特許

J-GLOBAL ID：200903069188883384

ステージ装置

発明者： 鈴木 繁
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007319
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 ステージ固定時、駆動部からの振動等の原因によりステージが微小変位するのを防止し、高い精度の位置決めを可能とすること。【解決手段】 ステージ1、中間ステージ2はぞれぞれ第1移動案内5-1,5-2,5-3、第2移動案内6-1,6-2,6-3によりステージ基台3上でそれぞれ移動できるように取り付けられている。ステージ1を位置決めするには、まず、第1固定手段7に負圧を供給して、ステージ1と中間ステージ2を吸着固定する。次に、駆動部4-1,4-2,4-3により中間ステージ2を移動させることにより、ステージ1を移動させ、ステージ1の位置決めを行う。所定の位置決め終了後、第2固定手段8に負圧を供給して、ステージ1をステージ基台3に吸着固定したのち、第1固定手段7による吸着固定を解除する。

請求項（抜粋）：

ステージ基台と、上記ステージ基台上に配置され、ステージ基台面に対して平行な平面内を移動可能に案内された中間ステージと、上記中間ステージ上に配置され、中間ステージ面に対して平行な平面内を、移動可能に案内されたステージとを備えたステージ装置であって、上記ステージを中間ステージに直接固定する第1固定手段と、上記ステージをステージ基台に直接固定する第2固定手段とを設けたことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

G05D 3/00 ,  B23Q 1/28 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G05D 3/00 A ,  B23Q 1/28 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 G

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-096494
  
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-174093   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-202031
  
• 特開平2-110953
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-096494
  
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-174093   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-202031
  
• 特開平2-110953