球面収差検出系及びこれを用いる光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-521339
公開番号（公開出願番号）：特表2001-507463
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】光ビームの球面収差はビームを合焦し、その断面を少なくとも2つの同心ゾーン(50,51)に分割することによって決定される。ゾーンを通過するサブビームは夫々焦点検出系(53,52)上に合焦される。2つの焦点の位置の間の距離はビームの中に存在する球面収差の測度である。

請求項（抜粋）：

光ビームの球面収差を測定する球面収差検出系であって、上記光ビームの断面の中の複数の同心ゾーンのうちの1つから放射線に関連する焦点誤差信号を夫々供給する複数の焦点検出系と、上記複数の焦点誤差信号から球面収差の測度を導出する信号プロセッサとを含む検出系。

IPC (3件)：

G01M 11/02 , G01B 11/06 , G01J 9/00

FI (3件)：

G01M 11/02 B , G01B 11/06 Z , G01J 9/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

前のページに戻る