エンコーダシステム、ステージ装置及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-286799
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093546
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】高精度な位置の測定を行う。【解決手段】露光装置100には、レチクルステージRSTの位置情報を測定するため、エンコーダ17Y1、17Y2、17Xを備えるエンコーダシステム16が設けられている。エンコーダ17Y1、17Y2、17Xのプローブ部19Y1、19Y2、19Xから発生られるレーザプローブは、スケール181上のパターンの配列方向に沿って振動し、その位置情報を含み、プローブの振動により変調された信号を出力する。変調された信号は、振動周波数の高調波によりその位相が検出され、その検出結果に基づいてレチクルステージRSTの位置情報が検出される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1方向に配列されたパターンを有する第1スケールと、前記第1スケールのパターンを検出し、前記第1方向に関して第1の周期信号で変調された出力信号を出力する第1プローブと、前記第1プローブから出力される出力信号に基づいて、前記第1スケールと前記第1プローブとの相対位置情報を検出する検出装置とを備える第1エンコーダと; 第2方向に配列されたパターンを有する第2スケールと、前記第2スケールのパターンを検出し、前記第2方向に関して第2の周期信号で変調された出力信号を出力する第2プローブと、前記第2プローブから出力される出力信号に基づいて、前記第2スケールと前記第2プローブとの相対位置情報を検出する検出装置とを備える第2エンコーダと; 前記第1の周期信号と前記第2の周期信号とを同期させる同期装置と;を備えるエンコーダシステム。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01D 5/36 , H01L 21/027

FI (3件)：

G01B11/00 A , G01D5/36 R , H01L21/30 503A

Fターム (48件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065CC17 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF16 , 2F065FF41 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL53 , 2F065LL57 , 2F065LL65 , 2F065MM14 , 2F065MM16 , 2F065NN00 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ14 , 2F065QQ27 , 2F065QQ29 , 2F065UU06 , 2F103BA08 , 2F103BA37 , 2F103CA01 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA03 , 2F103EA05 , 2F103EA15 , 2F103EB02 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EC03 , 2F103EC11 , 2F103ED34 , 2F103ED37 , 2F103FA01 , 2F103FA16 , 5F046CC13 , 5F046CC18 , 5F046DB04

引用特許：

出願人引用 (2件)

原子間測定技術
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-541935 出願人：大原徹雄
米国特許第6639686号明細書

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