特許
J-GLOBAL ID:200903069264372297
研磨シート及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-208559
公開番号(公開出願番号):特開2002-361564
出願日: 2001年06月06日
公開日(公表日): 2002年12月18日
要約:
【要約】【課題】使用時間の経過とともに変形せず、高い研磨レートで研磨対象物表面を均一に平坦化できる研磨シート及び方法を提供することである。【解決手段】1本の繊維13、複数本の繊維を束ねた繊維束13、又は複数本の繊維を束ねた繊維束をさらに複数束ねた繊維束13からなる織布シート12、及びこの織布シートの繊維又は繊維13束同士を固定する樹脂14から構成される研磨シート10。本発明の研磨シート10は、裏地シート15の表面に固定される。サテン数は3〜15の範囲が好ましい
請求項(抜粋):
1本の繊維、複数本の繊維を束ねた繊維束、又は複数本の繊維を束ねた繊維束をさらに複数束ねた繊維束からなる織布シート、この織布シートの前記繊維又は繊維束同士を固定する樹脂、から成る研磨シート。
IPC (4件):
B24D 11/00
, B24B 21/00
, B24B 37/00
, D03D 15/00
FI (5件):
B24D 11/00 A
, B24D 11/00 Q
, B24B 21/00 Z
, B24B 37/00 C
, D03D 15/00 F
Fターム (28件):
3C058AA05
, 3C058AA09
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CA04
, 3C058CA06
, 3C058CB02
, 3C058CB03
, 3C058CB10
, 3C058DA16
, 3C058DA17
, 3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BB11
, 3C063BC03
, 3C063BG08
, 3C063BH03
, 3C063EE01
, 3C063EE10
, 3C063EE26
, 3C063FF18
, 3C063FF23
, 4L048AA20
, 4L048AA35
, 4L048BA01
, 4L048BA02
, 4L048DA00
, 4L048EB00
引用特許:
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