特許

J-GLOBAL ID：200903069275419414

検査装置

発明者： 鈴木 保之 ,  宮下 丈人 ,  松山 敏伸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375343
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188050
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 被検査物の画像をより安定した状態で撮像することを可能とする。【解決手段】 被検査物の画像を撮像し、この画像を処理して解析することにより、被検査物の検査を行う検査装置であって、支持台上に載置された略方形状の撮像手段と、撮像手段の被検査物の画像が取り込まれる前面を支持すると共に支持台上に固定された第1の支持部材と、撮像手段の一方側面を支持すると共に支持台上に固定された第2の支持部材と、撮像手段の上面を支持すると共に第1の支持部材又は第2の支持部材に固定された第3の支持部材とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査物の画像を撮像し、この画像を処理して解析することにより、被検査物の検査を行う検査装置において、支持台上に載置された略方形状の撮像手段と、上記撮像手段の上記被検査物の画像が取り込まれる前面を支持すると共に、上記支持台上に固定された第1の支持部材と、上記撮像手段の一方側面を支持すると共に、上記支持台上に固定された第2の支持部材と、上位撮像手段の上面を支持すると共に、上記第1の支持部材又は上記第2の支持部材に固定された第3の支持部材とを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (40件)：

2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051AC02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA03 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB16 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ24 ,  4M106DJ26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 印刷配線板検査装置用の照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-209236   出願人：名古屋電機工業株式会社
• 電線端末検査装置用照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-331386   出願人：矢崎総業株式会社
• 光学式欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-154164   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-165641