特許
J-GLOBAL ID:200903069304581218
電子放出源、電界放射型ディスプレイおよび照明ランプ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-181068
公開番号(公開出願番号):特開2007-005030
出願日: 2005年06月21日
公開日(公表日): 2007年01月11日
要約:
【課題】カーボンナノウォール膜の凹凸な表面上に電子引出電極を容易に高精度に形成することを可能となし、かつ、カーボンナノウォール膜から長期にわたり安定した電子放出させることを可能とすること。【解決手段】基板15上に多数のナノオーダの壁状炭素薄片が平面方向に集合連成された形態のカーボンナノウォール膜18が電子放出材料として成膜され、該カーボンナノウォール膜18上に粒子サイズが100nm以下のダイヤモンド粒子からなるナノダイヤモンド膜20がカーボンナノウォール膜18の凹凸表面を反映しない平坦な膜表面に成膜されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に多数のナノオーダの壁状炭素薄片が平面方向に集合連成された形態のカーボンナノウォール膜が電子放出材料として成膜され、該カーボンナノウォール膜上に粒子サイズが100nm以下のダイヤモンド粒子からなるナノダイヤモンド膜がカーボンナノウォール膜の凹凸表面を反映しない平坦な膜表面に成膜されている、ことを特徴とする電子放出源。
IPC (3件):
H01J 1/304
, H01J 31/12
, H01J 63/06
FI (3件):
H01J1/30 F
, H01J31/12 C
, H01J63/06
Fターム (17件):
5C036EE01
, 5C036EE19
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH11
, 5C039MM02
, 5C135AA09
, 5C135AA15
, 5C135AB06
, 5C135AB07
, 5C135AC03
, 5C135HH02
, 5C135HH03
, 5C135HH15
, 5C135HH16
引用特許: