三次元形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三澤正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-007440
公開番号（公開出願番号）：特開2007-187622
出願日： 2006年01月16日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：

【課題】本発明の目的は、光路長の連続可変を高速で行い、かつ測定系の応答遅れを解決して、高速で形状測定を行える技術を提供することである。【解決手段】ビームスプリッター5が、広帯域光を受けて、参照鏡を有する参照光路と被測定物を配置した測定光路とに分岐して入射させて照射し、参照鏡からの反射光と被測定物の照射された照射範囲の各照射位置からの反射光を合波して出力し、ピエゾ8が、測定光路の光路長を連続可変し、カメラ10がピエゾ8による該光路長の可変に応じた所定時間間隔で、ビームスプリッター5からの出力を撮像することによって干渉縞のデータを取得し、光路長検出手段14が、カメラ10からのデータを基に干渉縞が生ずる時間位置を基に各照射位置の特定光路長として表し、変位演算手段15が、光路長検出手段14によって出力される、一照射位置の特定光路長と他の特定光路長との差を基に、各照射位置の相対的変位を求める構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

広帯域スペクトルを有する広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、該広帯域光を、参照鏡を有する参照光路と被測定物を配置した測定光路とに分岐して入射させて照射し、前記参照鏡からの反射光と前記被測定物の照射された照射範囲の各照射位置からの反射光を合波して出力する光路形成部(5)と、前記参照光路又は前記測定光路の光路長を変化させる光路長可変手段(8)と、該光路長可変手段による該光路長の変化に応じて、前記光路形成部からの出力を所定時間間隔で撮像する撮像手段(10)と、備え、該撮像手段によって出力される前記撮像信号から得られる前記参照光路の光路長と前記測定光路の光路長に応じて生ずる干渉縞に基づいて前記被測定物の形状測定を行う三次元形状測定装置において、前記光路長可変手段が前記光路長を連続的に変化させ、前記撮像手段によって撮像された撮像信号から得られる前記参照光路の光路長と前記測定光路の光路長が等しくなるときの被測定物の測定面に対して垂直方向の光路長変化量を求める光路長検出手段(14)と、前記光路長検出手段によって出力される、1つの照射位置の光路長変化量と他の照射位置の光路長変化量との差を基に、各照射位置の相対的変位を求める変位演算手段(15)と、を備えた三次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01B11/24 D , G01B9/02

Fターム (31件)：

2F064AA09 , 2F064FF07 , 2F064GG22 , 2F064GG44 , 2F064GG51 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064HH09 , 2F064JJ03 , 2F064JJ15 , 2F065AA01 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065FF52 , 2F065GG05 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL46 , 2F065PP03 , 2F065QQ00 , 2F065QQ14 , 2F065QQ16 , 2F065QQ17 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ33

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-288702号公報
特許第3220955号公報
特開平1-288702

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審査官引用 (3件)

特開平1-288702
形状測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301476 出願人：オリンパス光学工業株式会社
3次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-119993 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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