特許
J-GLOBAL ID：200903069323855876
ブレード先端位置検出装置及び検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-121283
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313756
出願日： 2001年04月19日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：
【要約】【課題】本発明は、ブレードに偏芯や偏摩耗等の変形があっても、正確なブレード先端位置を検出することができ、また高速回転中のブレードの変形量を定量的に把握することができるブレード先端位置検出装置及び検出方法を提供する。【解決手段】投光手段21と受光手段22の間で一対の光学系30を介して集光された光束を回転ブレード54で遮り、その位置における受光量を検出するに当り、ブレード54の回転周期と同期して、1周期内で複数点の受光量を検出する。 更に、光軸近傍の2箇所における最低受光量を検出し、受光量とブレード54の先端位置との関係を関数で求め、基準位置を算出する。
請求項（抜粋）：
投光手段と、所定間隔をおいて対向して設けられ、前記投光手段から投光された光を一方の光学系で前記所定間隔内で集光し、集光後拡散した光を他方の光学系で集光する一対の光学系と、前記他方の光学系で集光された光を受光し光電変換する受光手段と、前記光学系の所定間隔内を光軸に直行するZ方向に移動し、前記所定間隔内で集光した光を遮光する回転ブレードと、前記回転ブレードのZ方向移動量検出手段と、から成り、前記受光手段は前記回転ブレードの回転1周期内で複数点の受光量データを検出することを特徴とするブレード先端位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 A
, H01L 21/78 C
2F065AA02
, 2F065AA07
, 2F065AA12
, 2F065BB05
, 2F065CC10
, 2F065DD03
, 2F065FF44
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065HH04
, 2F065JJ18
, 2F065LL02
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065PP02
, 2F065PP22
, 2F065QQ23
, 2F065QQ28
