特許

J-GLOBAL ID：200903069324415314

出射効率制御素子及びその製造方法、並びに該出射効率制御素子を備えた赤外線センサ及びその製造方法

発明者： 塩野 照弘 ,  上田 路人 ,  伊藤 達男 ,  横山 和夫 ,  水口 信一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154952
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159872
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】焦電センサへ入射させる赤外線などの光量を制御するのに使われる出射効率制御素子において、動作が高速で再現性に優れ、製作が容易で、かつ低電圧で、簡便に安定な駆動が実現できる出射効率制御素子を提供し、さらにこの出射効率制御素子と焦電体を用い、小型で低電圧駆動が可能な赤外線センサを提供することを目的とする。【構成】基板69と、基板69表面に形成された絶縁層70と、絶縁層70の表面に配置された有機物から成るスペーサ層71と、スペーサ層71上に両端を有する複数本の梁72と、絶縁層70の表面及び梁の表面に形成された反射膜73とを供え、梁72は下面が酸化されにくい導電体薄膜74から形成されている。

請求項（抜粋）：

第1電極として機能する部分を有するプレートと、該プレート上に形成されたスペーサ層と、該スペーサ層上に両端を支持され、第2電極として機能する部分を有する複数本の梁から形成されたグレーティングと、を備え、該第1電極と該第2電極との間に印加する電圧を調整することにより、該梁と該プレートとの距離を変化させ、それによって、出射効率を制御する出射効率制御素子であって、更に、該プレートと該複数本の梁との間に形成された絶縁層を備えている出射効率制御素子。

IPC (6件)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/08 ,  G01V 8/12 ,  H01L 37/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第5311360号
  
• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-254842   出願人：株式会社村田製作所
• 赤外線チヨツパおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-333991   出願人：株式会社豊田中央研究所