高分子光導波路作製用金型の作製方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018233
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189818
出願日： 1996年01月10日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】低損失で高信頼な高分子光導波路を、安価で簡便に量産するために用いるコア形状複製用の高精度の金型を容易に製造する方法を提供する。【解決手段】ポリイミド膜表面を所定の凹凸形状としたものを原版として用い、この原版にメッキを行った後、メッキ層をはく離して金型を得る高分子光導波路作製用金型の作製方法。

請求項（抜粋）：

ポリイミド膜表面を所定の凹凸形状としたものを原版として用い、この原版にメッキを行った後、メッキ層をはく離して金型を得ることを特徴とする高分子光導波路作製用金型の作製方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , B30B 11/02 , G02B 6/12

FI (3件)：

G02B 6/12 M , B30B 11/02 , G02B 6/12 N

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭63-250607
特開平4-157403
特開平3-072528

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