処理液供給装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-298764
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114607
出願日： 2004年10月13日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】配管においてポンプを開閉バルブに近接できるレジスト液供給装置を提供する。【解決手段】タンクからレジスト液供給ノズルに通じる第2の配管176に,バルブやポンプが取り付け可能な取付けユニット175を接続する。取付けユニット175には,第1の開閉バルブ190と,ポンプ191と,第2の開閉バルブ192を上流側から順に取り付けられる。取付けユニット175の内部には,外部流入口180から第1の開閉バルブ190に通じる第1の接続流路200と,第1の開閉バルブ190からポンプ191に通じる第2の接続流路201と,ポンプ191から第2の開閉バルブ192に通じる第3の接続流路202と,第2の開閉バルブ192から外部流出口181に通じる第4の接続流路203が形成されている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

処理液供給源の処理液を配管を通じて処理液供給ノズルに供給する処理液供給装置であって, 処理液を処理液供給ノズルに圧送するためのポンプと, 前記ポンプにより圧送された処理液の前記処理液供給ノズルへの供給の開始と停止を行う開閉バルブを備え, 前記配管の一部には,少なくとも前記ポンプと前記開閉バルブを取付け可能な取付けユニットが連結され, 前記取付けユニットの内部には,前記配管の前記処理液供給源側から流入された処理液を前記ポンプに流入させ,前記ポンプから流出された処理液を前記開閉バルブに流入させ,前記開閉バルブから流出された処理液を前記配管の前記処理液供給ノズル側に流出させる接続流路が形成されていることを特徴とする,処理液供給装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B05C 11/10 , G03F 7/16

FI (3件)：

H01L21/30 564C , B05C11/10 , G03F7/16

Fターム (10件)：

2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025EA04 , 4F042AA07 , 4F042CB02 , 4F042CB08 , 4F042CB19 , 4F042CB25 , 5F046JA03 , 5F046JA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-240806 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社, 株式会社イワキ

前のページに戻る