特許
J-GLOBAL ID:200903069358985969
精密ろ過フィルター及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-298540
公開番号(公開出願番号):特開2009-119416
出願日: 2007年11月16日
公開日(公表日): 2009年06月04日
要約:
【課題】非対称孔構造を有する結晶性ポリマーからなる微孔性膜を1枚設けるだけで、被濾過流体中に混在する固形状成分と、固形状成分除去用最下流側濾過膜の孔径よりも概ね小さい径のゲル状成分とを効果的に除去して、膜厚を低減して流量及び寿命を向上することができ、もって、大きな設備にも適用することができると共に、カートリッジの交換回数を低減してメンテナンスにかかる費用や時間を節減することができ、さらに、半導体製造工程に用いることにより歩留まりを向上することができる精密ろ過フィルター及びその製造方法の提供。【解決手段】非対称孔構造を有する結晶性ポリマーからなる単層構造の微孔性膜と、ポリオレフィン濾過層とを積層して組み込む精密ろ過フィルター。【選択図】なし
請求項(抜粋):
非対称孔構造を有する結晶性ポリマーからなる単層構造の微孔性膜と、ポリオレフィン濾過層とを積層して組み込む精密ろ過フィルター。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (31件):
4D006GA07
, 4D006HA42
, 4D006HA71
, 4D006JA03C
, 4D006MA03
, 4D006MA06
, 4D006MA25
, 4D006MB09
, 4D006MB11
, 4D006MC22X
, 4D006MC23
, 4D006MC24
, 4D006MC28
, 4D006MC30X
, 4D006MC45
, 4D006MC47
, 4D006MC48
, 4D006MC54
, 4D006MC55
, 4D006MC61
, 4D006MC87
, 4D006MC88
, 4D006NA23
, 4D006NA62
, 4D006NA67
, 4D006NA69
, 4D006PA01
, 4D006PB13
, 4D006PB70
, 4D006PC01
, 4D006PC80
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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