特許

J-GLOBAL ID：200903069363539993

微小物体検査装置

発明者： 蒲田 喜彦
出願人/特許権者： 株式会社ヒューブレイン
代理人 (1件)： 溝上 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165623
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構造で、高速で効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供することを目的としている。【解決手段】 本発明の微小物体検査装置1は、フィーダ2の排出部2bから若干の距離を存してその端面が立設配置され、その端面上に円弧状に順次、吸引開口4A、撮像開口4B、及び複数の送出開口4D〜4F、を配置した固定テーブル4と、この固定テーブル4の端面上に回転自在に設けられ、その表裏面を貫通したポケット3aが円弧状に複数配列された回転テーブル3と、この回転テーブル3とフィーダ2の排出部2bとの間の空間を移動する位置、及び固定テーブル4の撮像開口4Bを介して対向する位置に設けたカメラ5A〜5Fとを設けたものである。

請求項（抜粋）：

微小物体を気流搬送して外観などを検査し、検査結果に基づいて微小物体を良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、多数の微小物体を整列させるフィーダと、このフィーダの先端部から若干の距離を存してその端面が立設配置され、該端面上において、円弧状に順次、前記フィーダの先端部と対向する位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置が接続された吸引開口、この吸引開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、微小物体前面を撮像するための撮像開口、及びこの撮像開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、分別した微小物体を送出する複数の送出開口、を設けた固定テーブルと、この固定テーブルにおける前記フィーダ側の端面上に回転自在に設けられ、その表裏面を貫通したポケットが前記吸引開口、撮像開口、及び送出開口上を通過するよう複数個円弧状に配列された回転テーブルと、この回転テーブルと前記フィーダの先端部との間の空間を移動する位置、及び前記固定テーブルの前記撮像開口を介して対向する位置に、微小物体の上下左右面、及び前後面を撮像するカメラを設けたことを特徴とする微小物体検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01B 11/02 H ,  G01B 11/30 A

Fターム (20件)：

2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF63 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065NN20 ,  2F065PP11 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ23 ,  2F065RR00 ,  2F065RR10 ,  2F065TT01 ,  2F065TT03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 粉末圧縮成型品の外観観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-221578   出願人：株式会社畑鉄工所
• 特開平4-107000
  
• 特開昭48-102656