特許
J-GLOBAL ID：200903069378890328
光ディスク用スタンパーの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-095426
公開番号（公開出願番号）：特開2001-283471
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 工程数を簡略化でき、レジスト材料で構成された層を好適に除去できる光ディスク用スタンパーの製造方法を提供すること。【解決手段】 光ディスク用スタンパー10は、型9を形成する型形成工程と、型9上に設けられたレジスト層を除去するレジスト層除去工程と、後加工工程とを行うことにより製造される。このとき、レジスト層は、オゾン含有水で処理することにより除去される。なお、レジスト層を除去する際には、レジスト層の除去から3時間経過後の型9表面の水との接触角が50°以下となるように、レジスト層を除去することが好ましい。
請求項（抜粋）：
レジスト材料で構成され、光ディスクを製造するためのスタンパーに所定の凹凸パターンを形成するための層を形成した後、この層を、オゾン含有水で処理することにより除去することを特徴とする光ディスク用スタンパーの製造方法。
Fターム (11件)：
5D121AA02
, 5D121BB03
, 5D121CA03
, 5D121CA07
, 5D121CB03
, 5D121CB06
, 5D121CB07
, 5D121CB08
, 5D121GG12
, 5D121GG16
, 5D121GG18
