特許

J-GLOBAL ID：200903069384310341

テーブル装置、成膜装置、光学素子、半導体素子及び電子機器

発明者： 岡田 信子
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102902
公開番号（公開出願番号）：特開2004-306191
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】インクジェット技術を用いて基板に成膜等を行う際に用いられる吸着テーブルにおいて、帯電を防止するとともに、基板への吸引跡の発生を防止する吸着テーブルを提供することを目的とする。【解決手段】基板100を吸着保持するテーブル装置40であって、多孔体からなる吸着部43を備え、吸着部43におけるの基板吸着面に導電膜44が形成されるとともに導電膜44を地絡させるようにした。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

基板を吸着保持するテーブル装置であって、 多孔体からなる吸着部を備え、該吸着部におけるの基板吸着面に導電膜が形成されるとともに該導電膜を地絡させることを特徴とするテーブル装置。

IPC (4件)：

B23Q3/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14

FI (4件)：

B23Q3/08 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 B ,  H05B33/14 A

Fターム (7件)：

3C016DA05 ,  3C016GA08 ,  3K007AB18 ,  3K007BA07 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-035827
  
• 特開平4-035827
  
• 吸着搬送方法および吸着加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-372429   出願人：日東電工株式会社
• インクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-010614   出願人：セイコーエプソン株式会社