特許

J-GLOBAL ID：200903069384603667

物体の表面検査

発明者： クラーク、マーク クェンティン
出願人/特許権者： ブリテイツシユ・ニユクリアー・フユールズ・ピー・エル・シー
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-502739
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508039
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】回動する物体(1)の表面を検査する装置であって、物体を保持し、かつ回動させる物体保持手段と、同物体保持手段が物体を保持し、かつ回動させた際、光学放射線からなる第1のビームを物体の表面に対して照射する手段(3)と、物体保持手段が物体を保持し、かつ回動させた際、光学放射線からなる第2のビームを物体の表面に対して照射する手段(5)と、第2のビームは第1のビームとは異なる種類のビームとして検出可能であることと、物体の表面で反射された第1のビームからの放射線を検出し、かつ物体の表面で反射された第2のビームからの放射線を検出する検出器手段(7)と、検出器手段が形成した信号を受信し、かつ同信号を分析するための信号プロセッサ(15)と、第1のビーム及び第2のビームはそれぞれ互いに異なる波長であるか、またはそれぞれ互いに異なる波長帯に属し、検出器手段は物体の表面の同一の照射領域から伝搬された第1のビーム及び第2のビームからの放射線を同時に受け取り、かつ検出し、さらには第1の出力信号及び第2の出力信号をそれぞれ形成可能であり、第1の出力信号は物体の照射領域内の複数の面積単位からの第1のビームの反射の変化を示す成分を有し、第2の出力信号は物体の照射領域内の複数の面積単位からの第2のビームの反射の変化を示す成分を有し、信号プロセッサは第1の出力信号の成分を第2の出力信号の成分に対して関連付けることにより、物体の表面の複数の面積単位における反射率に関する情報を強調することに適合していることを含む装置。

請求項（抜粋）：

回動する物体の表面を検査する装置であって、物体を保持し、かつ回動させる物体保持手段と、前記物体保持手段が物体を保持し、かつ回動させた際、光学放射線からなる第1のビームを物体の表面に対して照射する手段と、前記物体保持手段が物体を保持し、かつ回動させた際、光学放射線からなる第2のビームを物体の表面に対して照射する手段と、前記第2のビームは第1のビームとは異なる種類のビームとして検出可能であることと、物体の表面で反射された第1のビームからの放射線を検出し、かつ物体の表面で反射された第2のビームからの放射線を検出する検出器手段と、検出器手段が形成した信号を受信し、かつ同信号を分析するための信号プロセッサと、第1のビーム及び第2のビームはそれぞれ互いに異なる波長であるか、またはそれぞれ互いに異なる波長帯に属し、前記検出器手段は物体の表面の同一の照射領域から伝搬された第1のビーム及び第2のビームからの放射線を同時に受け取り、かつ検出し、さらには第1の出力信号及び第2の出力信号をそれぞれ形成し、前記第1の出力信号は物体の照射領域内の複数の面積単位からの第1のビームの反射の変化を示す成分を有し、前記第2の出力信号は物体の照射領域内の複数の面積単位からの第2のビームの反射の変化を示す成分を有し、前記信号プロセッサは第1の出力信号の成分を第2の出力信号の成分に対して関連付けることにより、物体の表面の複数の面積単位における反射率に関する情報を強調することに適合していることを含む装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G21C 17/06

FI (2件)：

G01N 21/88 A ,  G21C 17/06 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-038348
  
• 特開平4-204144
  
• パターン欠陥および異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-165272   出願人：株式会社ニコン