特許
J-GLOBAL ID：200903069385067696
基板検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388910
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188238
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：
【要約】【課題】 カセット内に収納された基板の状態を正確に検出することができる基板検出装置を提供する。【解決手段】 (1)開口52cに対して突出し、カセット52の各溝52dに収納された基板Wに向かって信号Sを発する送信器2と、(2)基板Wを挟んで送信器2と対峙するように突出し、信号Sを受信可能な受信器3と、(3)送信器2および受信器3をそれぞれ一端側に備える一対のアーム4、5と、(4)一対のアーム4、5の一方4を他端側4aで回動させて送信器2または受信器3を突出させる駆動手段6と、(5)一対のアーム4、5の他方5を一方のアーム4に従動して回動させる連動手段10と、(6)一対のアーム4、5が基板Wを検出するよう回動されたときに、他方のアーム5と当接することで、他方のアーム5の回動を停止させる停止手段9と、を備え、バックラッシュなどのガタツキをなくしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板収納容器内の基板の有無を、当該基板を挟んで対峙する位置に受信器と送信器を配置することにより検出する基板検出装置において、前記受信器または送信器のいずれかをそれぞれ備える一対のアームと、前記一対のアームを互いに連動させる連動手段と、当該連動手段を駆動する駆動手段と、前記送信器と受信器が前記一対のアームの連動により基板を検出する位置に配置されたとき、前記一対のアームの連動を停止させる停止手段とを備え、前記一対のアームの連動が停止した後も、前記駆動手段を駆動しつづけることを特徴とする基板検出装置。
Fターム (14件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031JA05
, 5F031JA13
, 5F031JA23
, 5F031JA25
, 5F031KA20
, 5F031LA12
, 5F031LA14
, 5F031LA15
, 5F031LA16
, 5F031MA15
, 5F031NA10
