特許

J-GLOBAL ID：200903069387467250

無機薄膜成膜方法

発明者： 多田 博士 ,  田中 俊章 ,  中村 秀
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-406180
公開番号（公開出願番号）：特開2005-060817
出願日： 2003年12月04日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】プラスチックフィルムのような耐熱性の低い基材であっても、無機薄膜を成膜できるようにする。【解決手段】加水分解性を有する金属化合物からなるガス成分を、水分を含有させた基材の表面近傍において、基材から発生する水蒸気と反応させることにより、基材が表面温度を前記金属化合物の熱分解温度以下の状態で前記基材表面上に金属酸化物層を形成する。このように、金属化合物からなるガス成分を、水分を含有させた基材の表面近傍において、基材から発生する水蒸気と反応させることで、耐熱性の低い基材の表面上であっても無機薄膜を安定して成膜することが可能になる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

加水分解性を有する金属化合物からなるガス成分を、水分を含有させた基材の表面近傍において、基材から発生する水蒸気と反応させることにより、基材の表面温度が前記金属化合物の熱分解温度以下の状態で前記基材表面上に金属酸化物層を形成することを特徴とする無機薄膜成膜方法。

IPC (3件)：

C23C16/44 ,  B32B9/00 ,  C23C16/40

FI (3件)：

C23C16/44 A ,  B32B9/00 A ,  C23C16/40

Fターム (31件)：

4F006AA35 ,  4F006AB74 ,  4F006BA02 ,  4F006BA05 ,  4F006BA07 ,  4F006BA14 ,  4F100AA17A ,  4F100AA21 ,  4F100AK25 ,  4F100AK42 ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100EH112 ,  4F100EJ212 ,  4F100EJ423 ,  4F100EJ602 ,  4F100JD02 ,  4F100JG01 ,  4F100JL08 ,  4F100JM02A ,  4K030AA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA46 ,  4K030CA01 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030HA12 ,  4K030HA13 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030LA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 金属酸化物膜蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-218647   出願人：旭化成工業株式会社, 斎藤秀俊