特許
J-GLOBAL ID：200903069389661916
ヨウ素レーザ装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238462
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068576
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】出力が高く、小型で運転コストの低いヨウ素レーザ装置を提供する。【解決手段】この発明のヨウ素レーザ装置は、レーザ共振器10の前後における反応ガスの圧力を概ね一定の圧力に維持することのできる反応ガスダクト12を有し、励起酸素発生器から出力される励起酸素の圧力を10Torr以上に維持することにより反応ガスの流速を音速に比較して最大1/2程度とすることで、レーザ光の出力に寄与した反応ガスを高圧のまま排気することにより小型で軽量のターボブロワ装置20の利用を可能としている。これにより、ヨウ素レーザ装置全体の大きさを低減できる。また、反応ガスに利用されるバッファガスの量及びヨウ素ガスも低減されることから、ランニングコストを抑制できる。
請求項（抜粋）：
過酸化水素と塩素ガスとを反応させて励起酸素を発生させる励起酸素発生器により供給される励起酸素にヨウ素を注入した反応ガスをレーザ共振器へ導く導入ダクトと、レーザ共振器と交差する位置でレーザ光の出力に寄与した反応ガスを排出する排出ダクトと、を有するヨウ素レーザ装置において、前記排出ダクトは、前記導入ダクトを流れる前記反応ガスの圧力および流速の変動量を所定の範囲内に維持しつつ前記反応ガスを前記排出ダクトに導入可能であることを特徴とするヨウ素レーザ装置。
Fターム (5件)：
5F071AA07
, 5F071EE04
, 5F071JJ01
, 5F071JJ02
, 5F071JJ08
