特許
J-GLOBAL ID：200903069397730242
インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325587
公開番号（公開出願番号）：特開平11-227204
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【目的】 製造工程において各層間に生じる残留応力を低減するインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。【構成】 本発明のインクジェット式記録ヘッドは、インクを吐出するノズル101を有するノズルプレート100と、このノズル101からインクを吐出させるための圧力室201が形成された圧力室基板と、この圧力室基板上に形成され、上記圧力室201を加圧する振動板11と、上記振動板11上に積層された下部電極12と、上記振動板11の加圧源となり、上部電極15及び上記下部電極12に挟まれた圧電体膜14から構成され、上記振動板11の圧力室201に対応する領域に設けられた圧電体素子と、を備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記下部電極12と上記圧電体膜14の間に圧縮性の応力を受ける導電性の膜13(IrOX、ReOX、RuOX等のうち何れか1つを主成分とする膜)を備える。
請求項（抜粋）：
インクを吐出させるための圧力室が形成された圧力室基板と、この圧力室基板上に形成され、上記圧力室を加圧する振動板と、上記振動板の加圧源となり、上部電極及び下部電極に挟まれた圧電体膜から構成され、上記振動板の圧力室に対応する領域に設けられた圧電体素子と、を備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記下部電極と上記圧電体膜の間に上記下部電極とは異なる材質からなる導電性の膜を備えるインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
