特許
J-GLOBAL ID：200903024693042412
インクジェットヘッドとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311960
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138807
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッドとその製造方法に関し、高精彩化印刷と小型・軽量化に寄与する。【解決手段】 厚さ方向に貫通するスリットが形成されたシリコン基板31と、シリコン基板31の表面に被着して該スリットを覆う酸化シリコン膜32と、該スリットに対応して酸化シリコン膜32の上に形成された圧電アクチュエータ36と、シリコン基板31の裏面に接合し、該スリットに連通するノズル35を備えたノズル板34とを備え、シリコン基板31の表面にインク流路を圧迫する酸化シリコン膜32と圧電アクチュエータ36を一体化させた構成と、該構成に適応する製造方法であり、インクジェットプリンタの小型・軽量化および印字の高精彩化を可能にする。
請求項（抜粋）：
インク流路内のインクを圧電アクチュエータが加圧し、該インク流路に連通するノズルから該インクを飛翔させるインクジェットヘッドにおいて、厚さ方向に貫通するスリットが形成されたシリコン基板と、該シリコン基板の表面に被着して該スリットを覆う酸化シリコン膜と、該スリットに対応して該酸化シリコン膜の上に形成された圧電アクチュエータと、該スリットに連通するノズルが設けられ該シリコン基板の裏面に接合されるノズル板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
