基板搬送機構および塗布膜形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-074212
公開番号（公開出願番号）：特開2005-263336
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】複数の処理部間の所定の領域で高精度な基板搬送を行うことができる安価な基板搬送機構およびこれを備えた塗布膜形成装置を提供する。【解決手段】レジスト塗布装置(CT)23aは、基板Gを搬入するための基板搬入部5aと、基板Gにレジスト液を供給して塗布膜を形成するための塗布処理部5bと、塗布膜の形成された基板Gを搬出するための基板搬出部5cと、基板搬入部5aから基板搬出部5cへ基板Gを略水平姿勢で一方向に搬送する基板搬送機構13を有する。基板搬送機構13の搬送制御に用いるリニアスケールとして、基板Gにレジスト液が供給されている間は高分解能の第2スケール55bが用いられ、それ以外の領域では第2スケール55bよりも分解能の低い第1スケール55a・55cが用いられるように、これらの間でスケール切替を行う。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を施す複数の処理部の間で基板を搬送する基板搬送機構であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部を一方向に移動させるリニアモータと、前記リニアモータを駆動するモータ駆動装置と、前記基板保持部の移動情報を計測するために、その長手方向が前記基板保持部の移動方向と一致するように、かつ、その一部が所定のエリア内でその長手方向に垂直な方向において重複するように略直列に設けられた長尺状の複数のスケールと、前記基板保持部に設けられ、前記複数のスケールの目盛りを読み取る複数のヘッドと、前記複数のヘッドのうちの1つのヘッドの計測信号が前記モータ駆動装置へ送られるように、前記複数のヘッドから出力される計測信号を切り替えるスケール切替装置と、を具備し、前記複数のスケールのうちの少なくとも2つは、その分解能が異なることを特徴とする基板搬送機構。

IPC (6件)：

B65G49/06 , B05C5/02 , B05C13/02 , G03F7/16 , H01L21/027 , H01L21/68

FI (6件)：

B65G49/06 Z , B05C5/02 , B05C13/02 , G03F7/16 501 , H01L21/68 A , H01L21/30 562

Fターム (58件)：

2H025AB17 , 2H025EA04 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA05 , 4F041BA22 , 4F041BA38 , 4F041BA60 , 4F041CA02 , 4F041CA18 , 4F041CA28 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AB00 , 4F042BA08 , 4F042BA13 , 4F042DF03 , 4F042DF09 , 4F042DF15 , 4F042DF24 , 4F042DF32 , 4F042DF34 , 4F042EB09 , 4F042EB13 , 4F042EB18 , 4F042EB21 , 4F042EB25 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031HA13 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031JA02 , 5F031JA08 , 5F031JA32 , 5F031LA08 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031PA03 , 5F031PA04 , 5F046JA22 , 5F046JA27 , 5F046KA07 , 5F046LA11

引用特許：

出願人引用 (2件)

塗布膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331663 出願人：東京エレクトロン株式会社
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-133062 出願人：東京応化工業株式会社

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