特許

J-GLOBAL ID：200903049758415150

塗布装置

発明者： 永澤 耕一 ,  寺本 和真
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133062
公開番号（公開出願番号）：特開2001-310152
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：

【要約】【課題】 振動が極めて少なく均一な厚さの塗膜を形成することができる塗布装置を提供する。【解決手段】 エアベアリング10の開口12からエアを噴出せしめレール8(ベース1)から移動部材9を浮上せしめた状態で、リニアモータ14のコイル16に通電し、移動部材9をレール8(ベース1)に対し非接触状態でレール8(マグネットレール15)に沿って移動させつつ、スリット状ノズル孔から塗布液を供給する。

請求項（抜粋）：

基板を水平状態で載置するテーブルを備えたベースと、このベースに対しリニアモータを介して移動可能とされた移動部材と、この移動部材をベースに対して浮上せしめる浮上手段と、前記移動部材に対し昇降自在に支持された昇降フレームと、この昇降フレームに水平状態で取り付けられスリット状吐出口がテーブル上方に臨む塗布エレメントとを備えた塗布装置において、前記移動部材または昇降フレームに塗布液送液ポンプを取り付けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 643

FI (7件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/30 564 Z ,  H01L 21/30 569 D

Fターム (29件)：

2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025EA04 ,  2H096AA27 ,  2H096CA12 ,  2H096GA23 ,  2H096GA24 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041CA04 ,  4F041CA11 ,  4F041CA18 ,  4F041CA23 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042BA04 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB11 ,  4F042CB19 ,  5F046HA02 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046LA03 ,  5F046LA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117028   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027266   出願人：シャープ株式会社