特許
J-GLOBAL ID：200903069438625912
カラー固体撮像素子とその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-022291
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194114
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 光感度の大幅な改善が図れるカラー固体撮像素子とその簡便な製造方法を提供すること。【構成】 このカラー固体撮像素子100は シリコン基体1内にマトリックス状に配列された複数の受光素子2と、この上側の各受光素子部に対応する部位に設けられたカラーフィルター層4と、この上側に設けられ屈折率1.3〜1.5の感光性樹脂で構成されかつ各受光素子部に対応する部位が球面状の凹形状部となるレンズ形成層7と、この上に設けられ屈折率1.8以上のポリイミド樹脂から成る下側マイクロ凸レンズ8群と、この上側の各受光素子部に対応する部位に設けられた上側マイクロ凸レンズ10群とでその主要部が構成されている。そして、上側並びに下側マイクロ凸レンズ8,10群の作用により各受光素子へ入射光を効率よく集光させることが可能となりその光感度を大幅に向上できる。
請求項（抜粋）：
複数の受光素子と各受光素子の光入射側に設けられたカラーフィルター層とを備えるカラー固体撮像素子において、上記カラーフィルター層の光入射側に入射光を各受光素子へ集束させる上下2枚組のマイクロ凸レンズ群を設けたことを特徴とするカラー固体撮像素子。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 9/07
