特許
J-GLOBAL ID：200903069439731210

画像入力装置及び検査装置

発明者：
井上 広

井上 広 について

, 
寺澤 恒男

寺澤 恒男 について

, 
今井 信一

今井 信一 について

, 
野村 武彦

野村 武彦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について

, 
株式会社ルネサステクノロジ

株式会社ルネサステクノロジ について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048117
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241290
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】被写体の映像を高精度に入力することができる画像入力装置を提供すること。【解決手段】ウエハWを支持するステージ21の位置決めを行う駆動部22と、ステージ21の位置を測定するレーザ干渉計23と、発光間隔を決める同期信号に同期してパルス光を発するパルス光源31と、パルス光源31からの照明光をウエハWに照射する照明光学系32と、光学像を画像電気信号に変換するTDIセンサ24と、ウエハWの拡大投影像をTDIセンサ24上に結像する結像光学系25と、レーザ干渉計23の位置情報に基づいてパルス光源31の発光間隔とTDIセンサ24の同期とを制御する同期制御回路40と、パルス光源31の光量を測定する光量モニタ34と、光量モニタ34の出力に基づいて画像電気信号を補正する光量補正回路50とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被写体の画像を入力し電気信号として出力する画像入力装置において、 前記被写体を支持するステージと、 このステージの位置決めを行う駆動部と、 前記ステージの位置を測定するレーザ干渉計と、 発光間隔を決める同期信号に同期してパルス光を発する光源と、 この光源からの照明光を前記ステージに支持される被写体に照射する照明光学系と、 結像された光学像を画像電気信号に変換するセンサと、 前記被写体の拡大投影像を前記センサ上に結像する結像光学系と、 前記レーザ干渉計の位置情報に基づいて前記光源の発光間隔と前記センサの同期とを制御する同期制御回路と、 前記光源からの照明光の光量を測定する光量モニタと、 この光量モニタの出力に基づいて前記画像電気信号を補正する光量補正回路とを具備することを特徴とする画像入力装置。
IPC (4件)：
G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G06T1/00 400D ,  H01L21/66 J ,  G01B11/24 H
Fターム (41件)：
2F065AA01 ,  2F065AA51 ,  2F065CC20 ,  2F065EE00 ,  2F065EE03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG08 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BC01 ,  2G051CA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CD06 ,  2G051DA06 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA05 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106DB08 ,  4M106DB19 ,  4M106DB20 ,  5B047AA12 ,  5B047BA01 ,  5B047BB04 ,  5B047BC05 ,  5B047BC09 ,  5B047BC12 ,  5B047BC14 ,  5B047BC23 ,  5B047CA04 ,  5B047CA19 ,  5B047CB17
引用特許：
出願人引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM