特許
J-GLOBAL ID：200903035277485145
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118255
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311608
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【目的】本発明は、パルス光源を用いたとしても、ある程度のスループットを確保し得る高性能な検査装置を提供する。【構成】パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物の像を光電的に検出するTDI型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有する検査装置。
請求項（抜粋）：
パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物の像を光電的に検出するTDI型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有することを特徴とする検査装置。
引用特許：
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