スキャナ駆動部のための方向制御システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231253
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】三角波に基づいて方向制御信号の有利な発生を維持して、実際の偏向位置の正確性および偏向の線形性が向上される、スキャナ駆動のためのレーザ走査顕微鏡の方向制御システム。【解決手段】励磁電流用の修正値を見つけるための論理ユニット13を通じて測定値受信器を関数発生器5に結合することによって、旋回ミラーの実際の偏向位置に関する測定値受信器に利用可能となる情報を評価して、論理ユニット13を援用して修正値を見つけることが可能とし、またこれを、偏差が減少されるかまたは完全に除去されるように、関数発生器5から出される方向制御周波数に影響を及ぼすために使用する。

請求項（抜粋）：

光線束の線形振動偏向のために役立つ旋回ミラーを駆動するためのスイング・モータと、方向制御周波数、周波数曲線、および振幅に関して変更可能な励磁電流でスイング・モータを給電するための方向制御ユニットと、方向制御ユニットに結合された関数発生器と、旋回ミラーの偏向位置についての情報の結果を得るための測定値受信器とを有する、スキャナ駆動部、特にレーザ走査顕微鏡のための方向制御システムであって、測定値受信器が、励磁電流のための修正値を見つけるために、論理ユニット(13)を通じて関数発生器(5)に結合されていることを特徴とする、スキャナ駆動部のための方向制御システム。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , G02B 21/00

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-169946 出願人：ジェネラル・スキャンニング・インコーポレイテッド
スキャナ駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-163060 出願人：オリンパス光学工業株式会社
レーザー走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-087693 出願人：興和株式会社

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