特許
J-GLOBAL ID：200903069444763987
半導体装置製造ラインの生産制御方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054831
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252178
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 複数工程の実験水準を一度に把握することができ、ウエハ毎の処理条件表示が可能であり、実験水準データの設定と管理が容易である半導体装置製造ラインの生産制御方法及び装置を提供する。【解決手段】 ロットベース管理ホストコンピュータ11がロット毎の処理条件、キャリアIDとロットIDとの対応関係及びロット毎のスロットIDとウエハIDとの対応関係を管理しロット単位の管理を行う。ウエハベース管理ホストコンピュータ12はロット内のウエハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単位の管理を行う。また、変換条件指示部13はロットベース管理ホストコンピュータ11及びウエハベース管理ホストコンピュータ12から取得したデータを半導体製造装置14に与える。ウエハベース管理ホストコンピュータ12は、水準毎の処理条件と使用する半導体製造装置の号機を実験工程とウエハ番号のマトリクスの形で実験水準マスタとして保持し、この実験水準マスタに従って、変換条件指示部13を介して半導体製造装置14に処理条件を与える。
請求項（抜粋）：
ロット毎の処理条件、キャリアIDとロットIDとの対応関係及びロット毎のスロットIDとウエハIDとの対応関係を管理しロット単位の管理を行うロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内のウエハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュータと、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウエハベース管理ホストコンピュータから取得したデータを半導体製造装置に与える変換条件指示部とにより半導体製造ラインの生産を制御する方法であって、前記半導体製造装置が、移載されたキャリアのIDを基にロット情報を前記変換条件指示部に問い合わせる工程と、前記変換条件指示部が、前記ロットベース管理ホストコンピュータから該当ロットの条理条件、スロットID情報、及びウエハID情報を取得し、仕掛かりウエハが試験ウエハの場合に前記ウエハベース管理ホストコンピュータから該当ロット内のウエハ毎の情報を取得すると共に、前記半導体製造装置に対して前記スロットIDに対応する条理条件を送信する工程とを有することを特徴とする半導体装置製造ラインの生産制御方法。
引用特許：
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