圧力センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：綿貫隆夫 , 堀米和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-032996
公開番号（公開出願番号）：特開2005-227001
出願日： 2004年02月10日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】使用時に圧力センサが高温に加熱されるような場合であっても、圧力センサからの出力信号の0点位置が変動することを抑え、安定した信頼性の高い圧力検知を可能にする。【解決手段】圧電センサ22を内蔵した外部筐体10と、該外部筐体10内に配置され、圧電センサ22に被測定体からの圧力を伝達する、前記圧電センサ22を含む内部構造体22、24、26、28、32とを備えた圧力センサにおいて、被測定体の温度変化にともなって変動する、前記外部筐体10と前記内部構造体との熱膨張量をマッチングさせたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電センサを内蔵した外部筐体と、該外部筐体内に配置され、圧電センサに被測定体からの圧力を伝達する、前記圧電センサを含む内部構造体とを備えた圧力センサにおいて、被測定体の温度変化にともなって変動する、前記外部筐体と前記内部構造体との熱膨張量をマッチングさせたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L19/04 , G01L9/08 , G01L23/10

FI (3件)：

G01L19/04 , G01L9/08 , G01L23/10

Fターム (7件)：

2F055AA23 , 2F055BB14 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055EE23 , 2F055FF01 , 2F055GG12

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-356920 出願人：日本特殊陶業株式会社
高温度中で使用できる圧力計測用センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-242443 出願人：エー・イー.システム株式会社

審査官引用 (2件)

特許第3609829号
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340105 出願人：株式会社ユニシアジェックス

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