特許

J-GLOBAL ID：200903069472086249

標準粒子塗布装置及び標準粒子塗布方法

発明者： 平井 恵
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 福井 豊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-238301
公開番号（公開出願番号）：特開2007-050371
出願日： 2005年08月19日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：

【課題】 付着量のバラツキを抑制し、標準粒子を安定して塗布できる標準粒子塗布装置を提供する。【解決手段】 標準粒子塗布装置10は、希釈液31から標準粒子42のエアロゾルを生成するエアロゾル発生部3と、標準粒子42のエアロゾルが導入され内部に配置された対象物1に標準粒子42を付着させる付着槽21とを備える。対象物1の近傍には、水晶発振子51が配置され、水晶発振子51に付着した標準粒子42の付着量に基づいて、付着槽21への標準粒子42の導入量を調整する標準粒子制御バルブ62の開閉制御、もしくは、希釈液31が収容された容器32への希釈水の供給量を調整する希釈水バルブ64の開閉制御が行われる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一定の粒径を有する標準粒子をエアロゾル化し、当該エアロゾルに対象物を曝すことにより、当該対象物に前記標準粒子を付着させる標準粒子塗布装置において、 前記標準粒子を含む希釈液が収容される容器と、 前記希釈液から前記標準粒子のエアロゾルを生成する手段と、 前記標準粒子のエアロゾルが導入されるとともに、内部に対象物が設置される付着槽と、 を有し、 前記付着槽が、対象物の設置箇所近傍に付着した標準粒子の付着量を計測する付着量計測手段を備えたことを特徴とする標準粒子塗布装置。

IPC (8件)：

B05B 7/14 ,  B05C 19/06 ,  B05D 1/02 ,  B05C 19/04 ,  H01L 21/66 ,  B05B 7/30 ,  G01B 17/02 ,  G01N 5/02

FI (8件)：

B05B7/14 ,  B05C19/06 ,  B05D1/02 Z ,  B05C19/04 ,  H01L21/66 J ,  B05B7/30 ,  G01B17/02 A ,  G01N5/02 A

Fターム (40件)：

2F068AA00 ,  2F068AA28 ,  2F068BB10 ,  2F068BB17 ,  2F068FF23 ,  2F068LL02 ,  2F068LL12 ,  2F068QQ00 ,  4D075AA02 ,  4D075AA82 ,  4D075AA83 ,  4D075CA47 ,  4D075DC21 ,  4D075EA02 ,  4D075EB10 ,  4D075EB14 ,  4F033QA01 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB05 ,  4F033QB12Y ,  4F033QB20 ,  4F033QD02 ,  4F033QD11 ,  4F033QD14 ,  4F033QF07Y ,  4F033QF11X ,  4F033QF11Y ,  4F033QH02 ,  4F033QH05 ,  4F033QH10 ,  4F033QH13 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AB06 ,  4F042BA21 ,  4F042CB19 ,  4F042DH09 ,  4M106AA01 ,  4M106CA41 ,  4M106DJ32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 標準粒子自動塗布機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-155358   出願人：ソニー株式会社