特許
J-GLOBAL ID:200903069485111064

光学測定機器用リモートコントローラ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-211568
公開番号(公開出願番号):特開2001-042229
出願日: 1999年07月27日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】調整量が大きな場合でも短時間で調整動作を完了でき、しかもオペレータが操作ミスをすることが少ない光学測定機器用リモートコントローラを得るにある。【解決手段】 光学測定機器の被測定物を載置するステージや対物レンズの精密移動を行うステッピングモータ3を備えるリモートコントローラにおいて、指先で回動できるようにコントローラ本体4Aに支持された第1の手動操作部材6Aに追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータ3の回転量を指示できるインクリメンタルエンコーダ9Aと、前記第1の手動操作部材6Aとは別の第2の手動操作部材7Aに追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータ3の回転速度を指示できるアブソリュートエンコーダ11Aと、前記インクリメンタルエンコーダ9A及び前記アブソリュートエンコーダ11Aからの信号を入力されてアブソリュートエンコーダ11Aで指定された回転速度及びインクリメンタルエンコーダ11Aで指示された回動量だけ前記ステッピングモータを駆動する制御装置とを備える光学測定機器用リモートコントローラ。
請求項(抜粋):
光学測定機器の被測定物を載置するステージや対物レンズの精密移動を行うステッピングモータを備えるリモートコントローラにおいて、指先で回動できるようにコントローラ本体に支持された第1の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転量を指示できるインクリメンタルエンコーダと、前記第1の手動操作部材とは別の第2の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転速度を指示できるアブソリュートエンコーダと、前記インクリメンタルエンコーダ及び前記アブソリュートエンコーダからの信号を入力されてアブソリュートエンコーダで指定された回転速度及びインクリメンタルエンコーダで指示された回動量だけ前記ステッピングモータを駆動する制御装置とを備えることを特徴とする光学測定機器用リモートコントローラ。
IPC (2件):
G02B 21/26 ,  G02B 21/36
FI (2件):
G02B 21/26 ,  G02B 21/36
Fターム (4件):
2H052AD05 ,  2H052AD07 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31
引用特許:
出願人引用 (8件)
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