特許
J-GLOBAL ID：200903069577243170
プラズマエッチング用電極板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058086
出願日： 1993年08月11日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 黒鉛製プラズマエッチング用電極板の耐磨耗性を高める。【構成】 等方性で高密度かつ高純度の黒鉛基材を反応容器の台に載置し、低圧にした後、950°Cに加熱し、容器内に反応ガスとして高純度水素ガス及びメタンガスを導入して4kPaとする。そして電極間に2.45GHz,400Wのマイクロ波を加えて放電プラズマを発生させ、ガスを反応させる。このようにして3時間反応させることにより、黒鉛基材上にダイヤモンド被膜が約15μm析出する。ダイヤモンド被膜された黒鉛板を、プラズマエッチング用電極板として用いることにより、黒鉛製のプラズマエッチング用電極板に比べて耐磨耗性が改善され、使用時間が約2倍に増加した。また、エッチング用電極板からの粒子の脱落も低減され、半導体ウエハのエッチング歩留りも向上した。
請求項（抜粋）：
等方性で高密度かつ高純度の黒鉛板の表面にダイヤモンド被膜を設けたことを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
IPC (4件)：
H01L 21/3065
, C04B 41/87
, C23F 4/00
, C30B 29/04
