耐熱性高屈折率差高分子光導波路、及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085964
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251113
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】既存の高分子光導波路と比較してコアとクラッドの屈折率差が更に大きく、かつ優れた耐熱性を有する高分子光導波路を提供する。【解決手段】コア、及びクラッドが高分子材料で構成される高分子光導波路において、コアとクラッドにコアとクラッドの屈折率差が3%以上のポリイミドの組合せを用いる耐熱性高屈折率差高分子光導波路。コア材料、又はコア材料及びクラッド材料に特定のポリイミドを用い、下部クラッド層、コア層及び上部クラッド層をスピンコートと硬化により形成する(耐熱性を有する)高屈折率差高分子光導波路の製造方法。なお、埋め込み型光導波路の場合はコア層をフォトリソグラフィとドライエッチングにより加工する。

請求項（抜粋）：

コア、及びクラッドが高分子材料で構成される高分子光導波路において、コアとクラッドにコアとクラッドの屈折率差が3%以上のポリイミドの組合せを用いることを特徴とする耐熱性高屈折率差高分子光導波路。

IPC (5件)：

G02B 6/12 , C08G 73/10 NTF , G02B 1/04 , G02B 6/00 391 , G02B 6/13

FI (5件)：

G02B 6/12 N , C08G 73/10 NTF , G02B 1/04 , G02B 6/00 391 , G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (28件)

特開平4-009807
特開平4-009807
特開平3-072528

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