特許

J-GLOBAL ID：200903069591492506

露光方法および露光装置

発明者： 遠藤 英彰
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199769
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021748
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 複数種類のパターンを被露光基板上の同一ショットに重ね焼きして1種類のパターンを形成する多重露光方式のスループットを向上させる。【解決手段】 1つの露光光源から出射された光束を複数個に分割しその分割された各光束をそれぞれ所望の照明条件に設定して1つの露光フィールド内の異なる領域を照明する。

請求項（抜粋）：

1つの露光光源から出射された光束を複数個に分割しその分割された各光束をそれぞれ所望の照明条件に設定して1つの露光フィールド内の異なる領域を照明することを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 518

Fターム (9件)：

5F046AA13 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB10 ,  5F046CB17 ,  5F046CB27 ,  5F046CC04 ,  5F046CC14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-053971   出願人：株式会社ニコン