特許
J-GLOBAL ID：200903069676127050
面発光レーザ素子、面発光レーザ素子アレイおよび面発光レーザ素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-288735
公開番号（公開出願番号）：特開2008-108827
出願日： 2006年10月24日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】メサポストを含む広範囲に誘電体多層膜が設けられるとともに、メサポスト内の活性層における歪および転位の発生が抑制され、長期信頼性が向上されること。【解決手段】面発光レーザ素子100は、活性層4を含む複数の半導体層が積層されて柱状形成されたメサポスト10を有し、活性層4に対して垂直方向にレーザ光を射出する面発光レーザ素子であって、メサポスト10を含む範囲に成膜されるとともに、活性層4内に設けられた電流注入領域4aの直上部に位置する射出窓部7aに比べて積層数が少ない低層部7bが少なくともメサポスト10の側面部10aに形成された上部DBRミラー7を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
活性層を含む複数の半導体層が積層されて柱状形成されたメサポストを有し、前記活性層に対して垂直方向にレーザ光を射出する面発光レーザ素子において、
前記メサポストを含む範囲に成膜されるとともに、前記活性層内に設けられた電流注入領域の直上部に比べて積層数が少ない低層部が少なくとも前記メサポストの側面部に形成された誘電体多層膜を備えたことを特徴とする面発光レーザ素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
5F173AC03
, 5F173AC14
, 5F173AC26
, 5F173AC35
, 5F173AC42
, 5F173AC52
, 5F173AD04
, 5F173AH04
, 5F173AH49
, 5F173AK21
, 5F173AK22
, 5F173AL05
, 5F173AL06
, 5F173AL13
, 5F173AL14
, 5F173AL16
, 5F173AL17
, 5F173AL21
, 5F173AP05
, 5F173AP09
, 5F173AP32
, 5F173AP43
, 5F173AP67
, 5F173AR81
, 5F173AR96
