特許
J-GLOBAL ID：200903069709096473
静電型インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-047229
公開番号（公開出願番号）：特開2002-240284
出願日： 2001年02月22日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 低電圧駆動可能で、安定性、信頼性の高い静電型インクジェットヘッドにおいて、振動板と対向電極間のギャップ形状のバラツキを少なく製造する。【解決手段】 振動板22と対向電極間のギャップGの形状は、振動板22に対し非平行な第1の非平行部分G1と、第1の非平行部分の傾斜より急峻な傾斜の第2の非平行部分G2と、前記振動板と平行な平行部分G3とからなる。非平行ギャップG1,G2の位置に対応して電極基板となる絶縁膜12上の振動板基板との接合面領域及び第1の非平行領域G1にレジストパターンを形成し、電極基板とレジストを同時にエッチングすることによりレジスト形状を所定の比率で電極基板に転写する。
請求項（抜粋）：
記録液を吐出するノズルに連通する液室の一部を構成する振動板と、該振動板とギャップを介して個別電極が対向配置された電極基板を有し、前記振動板に取り付けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させ記録液を前記ノズルから吐出させる静電型インクジェットヘッドにおいて、前記ギャップは、前記振動板に対し非平行な傾斜を持った第1の非平行部分と、該第1の非平行部分の傾斜より急峻な傾斜を持った第2の非平行部分と、前記振動板に対して平行な平行部分とからなることを特徴とする静電型インクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AG99
, 2C057AP31
, 2C057BA04
, 2C057BA15
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
