特許

J-GLOBAL ID：200903069743672610

fθレンズ

発明者： 布施 敬司
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226430
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051191
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【目的】 広い二次元走査範囲にわたって高いfθ線形性、テレセントリック性、回折限界の集光性を実現することのできるプリント基板穴あけ加工のための二次元走査光学系用fθレンズを提供すること。【構成】 物界側より順に、物界側に凸の正レンズよりなる第1群、物界側に凹の負のレンズよりなる第2群、正レンズのみの1成分あるいは物界側から順に正レンズと負レンズまたは正レンズと正レンズの2成分よりなり全体として正の屈折力をもつ第3群よりなり、前記第2群の焦点距離をf2、前記第3群の焦点距離f3、全系の焦点距離をf、全系の前側焦点から後側焦点までの距離をdとするとき次の(a)〜(c)の条件を満足するようにする。(a)-2.2≦f2/f≦-0.3(b) 0.4≦f3/f≦0.9(c) 1.8≦d/f≦2.4また、各レンズの材質は、セレン化亜鉛(ZnSe)或いはゲルマニウム(Ge)を用いる。さらに、各レンズの少なくとも1個を非球面レンズとすると設計が容易になり枚数を減らすことができる。

請求項（抜粋）：

炭酸ガスレ-ザ或いはYAGレ-ザの赤外光レ-ザビームを二次元走査し集光して被処理物に照射し被処理物に複数の穴を穿孔するレ-ザ加工のために、二次元走査ビームを集光するレンズであって、赤外光に対して透明で2以上の屈折率を持つ材料からなり、物界側より順に、物界側に凸の正レンズよりなる第1群、物界側に凹の負レンズよりなる第2群、正レンズのみの1成分、或いは物界側から順に正レンズと負レンズ叉は正レンズと正レンズの2成分を有し全体として正の屈折力をもつ第3群よりなり、二次元走査領域の全域において波面収差の二乗平均平方根(RMS)がレ-ザ光波長λの1/14以下であることを特徴とするfθレンズ。

IPC (3件)：

G02B 13/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 13/22

FI (4件)：

G02B 13/00 ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/06 A ,  G02B 13/22

Fターム (29件)：

2H087KA26 ,  2H087LA22 ,  2H087NA02 ,  2H087NA03 ,  2H087PA03 ,  2H087PA04 ,  2H087PA17 ,  2H087PB03 ,  2H087PB04 ,  2H087QA02 ,  2H087QA05 ,  2H087QA06 ,  2H087QA12 ,  2H087QA13 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA33 ,  2H087QA37 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087UA02 ,  4E068CD01 ,  4E068CD13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• fθレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-227929   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭54-150144
  
• 特開平4-093910