特許

J-GLOBAL ID：200903069755257716

プローブ

発明者： 石渡 達也
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363837
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167002
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体デバイスの通電試験に用いるプローブに関し、特に高い周波数の信号を通過させることが可能な半導体デバイスの高周波試験に用いて好適なプローブを提供する。【解決手段】プローブにおいて、突起電極20が半導体デバイス30の電極に押圧する。この突起電極は、芯線14の露出部分の少なくとも一部に配置されているから、外皮18により電気的に保護されない部分の長さ寸法を大きくする必要が無く、その結果従来のプローブより高い周波数の信号を通過させる事が出来る。

請求項（抜粋）：

芯線の一端部の少なくとも一部が露出された同軸ケーブルと、前記芯線の露出された部分の少なくとも一部に配置された突起電極とを含む、プローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/067 H ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (19件)：

2G003AE03 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G011AA09 ,  2G011AA22 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC01 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA09 ,  4M106DD15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 高周波プローブ先端の構造およびその加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-161021   出願人：日本電気株式会社, アンリツ株式会社
• プリント配線板の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-208833   出願人：松下電器産業株式会社
• 同軸型コンタクトプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-182903   出願人：株式会社タイセー