流量コントロ-ルバルブ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤憲秋 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-370486
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193106
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】流出側の負荷の増大に伴って発生するバルブの劣化、損傷あるいは塵の発生等の不具合を一挙に解消することができる流量コントロールバルブの構造を提供する。【解決手段】流入部12を有し弁座16を介して流出部15が形成されたチャンバ20を有するボディ本体11と、前記弁座を開閉する弁部41と前記流入部側の第一ダイヤフラム部50と前記流出部側の第二ダイヤフラム部60とを有する弁機構体40とからなり、前記各ダイヤフラム部は、前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一加圧室21、弁室25、及び第二加圧室30に区分しており、第一加圧手段M1及び第二加圧手段M2によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を弁室方向に常時一定圧力を加えるように構成され、前記第一ダイヤフラム部50に弁部41を有する第一部材51を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部60には前記第一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材61を一体に設けた流量コントロールバルブ10。

請求項（抜粋）：

一側に被制御流体の流入部(12)を有し弁座(16)を介して他側に被制御流体の流出部(15)が形成されたチャンバ(20)を有するボディ本体(11)と、前記弁座を開閉する弁部(41)と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部(50)と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部(60)とを有する弁機構体(40)とからなり、前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室(21)、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室(25)、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室(30)に区分しており、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段(M1)及び第二加圧手段(M2)によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブ(10)において、前記弁機構体(40)の第一ダイヤフラム部(50)に弁部(41)を有する第一部材(51)を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部(60)には前記第一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材(61)を一体に設けたことを特徴とする流量コントロールバルブ。

IPC (2件)：

F16K 7/17 , F16K 31/126

FI (2件)：

F16K 7/17 B , F16K 31/126 Z

Fターム (14件)：

3H056BB11 , 3H056BB32 , 3H056BB41 , 3H056BB47 , 3H056CA08 , 3H056CB02 , 3H056CD01 , 3H056CD03 , 3H056CD06 , 3H056DD04 , 3H056EE04 , 3H056GG05 , 3H056GG11 , 3H056GG14

引用特許：

出願人引用 (5件)

流体コントロールバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106056 出願人：アドバンス電気工業株式会社
特開昭61-055482
特許第5746245号

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