特許
J-GLOBAL ID：200903069785745480
統合マスクおよび統合マスクの組立装置と組立方法並びに有機EL素子の製造装置と製造方法。
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-172957
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087466
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】基板に多数個の有機EL素子を精度よく蒸着により形成できるように多数個の蒸着マスクを配列した統合マスクの構成と組み立て装置・方法、それを用いた有機EL素子の製造装置・方法を提供する。【解決手段】複数の蒸着マスクを、ベース板上に係合手段によって配置、固定した統合マスクの組立装置であって、ベース板を保持するテーブルと、ベース板または選ばれた蒸着マスクの基準マークを検知して、テーブルの基準移動軸に対する統合マスクの基準マークの設定位置からのずれ量を計測する計測手段と、前記ずれ量に応じて統合マスクの基準マークの前記基準移動軸に対する相対位置を補正する補正機構と、統合マスクと蒸着マスクの基準マークを検知して、蒸着マスク保持移動機構を用いて統合マスクと蒸着マスクの相対位置決めを行う置決め機構と、ベース板と蒸着マスクとの係合を操作する係合操作手段とを備えることを特徴とする統合マスクの組立装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蒸着パターンに対応した蒸着用開口配列群をもつ複数の蒸着マスクを、ベース板上に係合手段によって配置、固定して構成される統合マスクの組立装置であって、
ベース板を保持するテーブルと、
ベース板の、もしくは選ばれた蒸着マスクの基準マーク(統合マスクの基準マーク)を検知して、テーブルの基準移動軸に対する統合マスクの基準マークの設定位置からのずれ量を計測する計測手段と、
前記ずれ量に応じて統合マスクの基準マークの前記基準移動軸に対する相対位置を補正する補正機構と、
統合マスクの基準マークと蒸着マスクの基準マークを検知して、蒸着マスク保持移動機構を用いて統合マスクの基準マークと蒸着マスクの相対位置決めを行う位置決め機構と、
ベース板と蒸着マスクとの係合を操作する係合操作手段と
を備えることを特徴とする統合マスクの組立装置。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/04
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA03
