特許

J-GLOBAL ID：200903091754966417

多面取り用メタルマスク及びその製造方法

発明者： 大下 勇
出願人/特許権者： 東北パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-048173
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237073
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 有機エレクトロルミネセンス表示パネルの有機エレクトロルミネセンス媒体などの正確な形成ができるとともに製造効率を向上できるメタルマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】 メタルマスクは、蒸着源からの蒸着物質が通過する複数の貫通開口を各々が有する複数のメタルマスク領域を有する多面取り用メタルマスクであって、各々がメタルマスク領域を有する複数の単位メタルマスクと、単位メタルマスクの各々をメタルマスク領域以外の縁部で支持する開口縁部で画定された開口部を複数有する基材部と、を備える。

請求項（抜粋）：

複数の貫通開口を各々が有する複数のメタルマスク領域を有する多面取り用メタルマスクであって、各々がメタルマスク領域を有する複数の単位メタルマスクと、前記単位メタルマスクの各々を前記メタルマスク領域以外の縁部で支持する開口縁部で画定された開口部を複数有する基材部と、を備えたことを特徴とする多面取り用メタルマスク。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

Fターム (22件)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA10 ,  4K029BA15 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC08 ,  4K029BC09 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 有機電界発光素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-281290   出願人：東レ株式会社
• 特開昭62-202491
  
• 電子部品の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008273   出願人：松下電器産業株式会社