特許

J-GLOBAL ID：200903069942009777

石英ガラスヒータ及びその製造方法

発明者： 服部 栄市 ,  岩谷 伸雄 ,  岸 武男
出願人/特許権者： 服部ヒーティング工業株式会社
代理人 (1件)： 佐當 彌太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298877
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138845
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 2枚の石英ガラス同士の密着面の密着度合いを強力にし、密着度合が全面に均一に保ち、発熱体と石英ガラスの間の密着度が発熱体素材の厚さを十分に精密に管理し、さらに、熱伝導率を均一にし、発熱体全面における均一な熱発生を保つことを可能にして、部分的に温度が異なることなく、長期間にわたり、高い品質を保持することを可能にする。【構成】 2枚の石英ガラスを接合し、その接合面の両方又はいずれか片方の表面を削抉して形成した凹所に平板状発熱体を形成し、両石英ガラスの接合面を研磨または超精密仕上げを施して密着した構成。

請求項（抜粋）：

2枚の石英ガラスを接合し、その接合面の両方又はいずれか片方の表面を削抉して形成した凹所に平板状発熱体を形成し、両石英ガラスの接合面を研磨または超精密仕上げを施して密着して構成した石英ガラスヒータ。

FI (2件)：

H05B 3/20 326 B ,  H05B 3/20 355 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ガラス材の接着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083317   出願人：直江津電子工業株式会社
• 面状発熱体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093930   出願人：坂口電熱株式会社
• 特開平2-033882
  
• 特開平2-033882