特許
J-GLOBAL ID：200903069942033570
誘導結合プラズマエッチング装置のチャンバー内壁
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340894
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 誘導結合プラズマ(ICP) との相互作用を抑制して、プラズマ状態を安定に維持するとともにスパッタリングによる内壁材からの汚染を低減化した誘導結合プラズマエッチング装置のチャンバー内壁を提供する。【解決手段】 総灰分5ppm 以下のガラス状カーボン材で形成した誘導結合プラズマエッチング装置のチャンバー内壁。
請求項（抜粋）：
総灰分5ppm 以下のガラス状カーボン材で形成されたことを特徴とする誘導結合プラズマエッチング装置のチャンバー内壁。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, C01B 31/02 101
H01L 21/302 B
, C23F 4/00 D
, C01B 31/02 101 Z
