特許
J-GLOBAL ID：200903069943577337
光モジュール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239173
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090562
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 パッケージの光の通過する窓の封止および光学素子とモジュール外部の光ファイバとの間の位置合わせを容易にする光モジュールを提供する。【解決手段】 一方の表面に異方性エッチングを施してV溝21を形成したSi基板20を具備し、V溝21の一方の端部に近接してSi基板20の一方の表面に接着固定される光学素子3を具備し、V溝21に接着固定される短光ファイバ10を具備し、一方の表面に異方性エッチングを施してV溝21を形成してSi基板20の一方の表面に接着固定されるSiカバー20’を具備し、窓51が形成されSiカバー20’が接着固定されたSi基板20の中間部を当該窓に接着固定して保持するパッケージ5を具備し、Si基板20およびSiカバー20’のパッケージ5から突出する端面に光コネクタ9を接続する光モジュール。
請求項（抜粋）：
光コネクタを有する光ファイバを使用して光学素子に光を入出力する光モジュールにおいて、一方の表面に異方性エッチングを施してV溝を形成したSi基板を具備し、V溝の一方の端部に近接してSi基板の一方の表面に接着固定される光学素子を具備し、V溝に接着固定される短光ファイバを具備し、一方の表面に異方性エッチングを施してV溝を形成してSi基板の一方の表面に接着固定されるSiカバーを具備し、窓が形成されてSiカバーが接着固定されたSi基板の中間部を当該窓に接着固定して保持するパッケージを具備し、Si基板およびSiカバーのパッケージから突出する端面に光コネクタを接続することを特徴とする光モジュール。
IPC (4件)：
G02B 6/42
, G02B 6/38
, H01L 31/0232
, H01L 33/00
G02B 6/42
, G02B 6/38
, H01L 33/00 M
, H01L 31/02 C
