特許
J-GLOBAL ID：200903069947050651
球状シリコン微粒子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青麻 昌二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-138434
公開番号（公開出願番号）：特開2005-320195
出願日： 2004年05月07日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】 粒子サイズがナノオーダで、粒子内部が非晶質あるいは結晶構造を有したシリコン微粒子を提供する。【解決手段】 ナノメータサイズの球状多結晶又はアモルファスシリコン微粒子は、溶融シリコンを高速回転する皿形ディスク上に供給し遠心力を作用させて小滴として飛散させ不活性ガス雰囲気中で急冷して得られるシリコン粒子を液状媒体中に分散し、該分散液を加圧して小径ノズルを通過させる操作を繰り返すことにより得られる。
請求項（抜粋）：
溶融シリコンを高速回転する皿形ディスク上に供給し遠心力を作用させて小滴として飛散させ不活性ガス雰囲気中で急冷して得られるシリコン粒子を液状媒体中に分散し、該分散液を加圧して小径ノズルを通過させる操作を繰り返すことにより得られたものであるナノメータサイズの球状多結晶又はアモルファスシリコン微粒子。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C01B33/02 E
, C01B33/02 Z
4G072AA01
, 4G072BB07
, 4G072BB12
, 4G072BB13
, 4G072BB20
, 4G072GG01
, 4G072GG03
, 4G072HH01
, 4G072LL03
, 4G072LL11
, 4G072MM26
, 4G072MM38
, 4G072MM40
, 4G072TT01
