走査型プローブ顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-230210
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042931
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】本発明は、画像取り込み速度を高速化したSPM装置を提供する。【解決手段】本発明によると、探針を有するカンチレバーを励振手段でZ方向に振動させながら、前記探針と試料とが相互作用を起こす領域まで前記試料の表面に近接した状態で前記試料と相対的にそれぞれX,YまたはX,Y,Z方向に走査させ、前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段から出力された変位信号を所定のタイミングでサンプリングし且つサンプリングした値を前記変位信号の振幅または山谷幅の大きさを表す変位強度信号として出力し、走査の間、前記変位強度信号が予め設定した値に近づくよう前記Z方向に動かして制御するSPM装置であって、前記変位検出手段から出力される正弦波状の前記変位信号の一周期内の山と谷または谷と山が出力されたのち半周期以内に山と谷の差を前記変位強度信号として出力することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

探針を有するカンチレバーと、このカンチレバーを振動させる励振手段と、この励振手段によって前記カンチレバーを第1の方向Zに振動させながら、前記探針と試料とが相互作用を起こす領域まで前記探針を前記試料の表面に近接した状態で前記試料と相対的にそれぞれ前記第1の方向Zと直交する第2及び第3の方向X,Yもしくは前記第1、第2及び第3の方向Z,X,Yに走査させる走査手段と、前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段と、この変位検出手段から出力された変位信号を所定のタイミングでサンプリングし且つサンプリングした値を前記変位信号の振幅もしくは山谷幅の大きさを表す変位強度信号として出力する振幅検出手段と、前記走査手段による走査の間、前記振幅検出手段から出力された変位強度信号が予め設定した値に近づくよう前記走査手段を前記第1の方向Zに動かして制御する制御手段と、前記振幅検出手段から出力された変位強度信号に基づく画像を表示する画像表示手段とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、前記振幅検出手段は、前記変位検出手段から出力される正弦波状の前記変位信号の一周期内の山と谷もしくは谷と山が出力されたのち半周期以内に山と谷の差を前記変位強度信号として出力し、前記制御手段側に送り出すことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/16 , G01B 21/00 , G01B 21/20 , G01N 13/10

FI (4件)：

G01N 13/16 A , G01B 21/00 G , G01B 21/20 Z , G01N 13/10 E

Fターム (12件)：

2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069LL03 , 2F069NN00 , 2F069QQ05 , 2F069QQ12

引用特許：

出願人引用 (5件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285619 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
試料測定用プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-176210 出願人：オリンパス光学工業株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-045574 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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