特許

J-GLOBAL ID：200903070005078702

クラスター生成方法および装置

発明者： 岩田 康嗣 ,  韓 民 ,  木山 学 ,  福田 昭 ,  澤田 嗣郎 ,  武藤 麻紀子 ,  滝谷 俊夫 ,  小村 明夫
出願人/特許権者： 経済産業省産業技術総合研究所長 ,  日立造船株式会社
代理人 (2件)： 岸本 瑛之助 (外3名) ,  岸本 瑛之助 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-341406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-158956
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 サイズの揃ったクラスターを生成する。【解決手段】 不活性ガスを満たしたクラスター生成空間において、クラスターの原料となるターゲットを蒸発させる。これにより、ターゲットの蒸発原子が膨張する状態を生じさせる。膨張する領域と、膨張により不活性ガス領域中に生じた衝撃波または衝撃波がクラスター生成空間の壁に反射した反射衝撃波とにより、それらの混合領域であるクラスター生成領域を形成する。クラスター生成領域内でクラスターを生成させ、生成したクラスターをクラスター生成空間から外部空間に取り出す。

請求項（抜粋）：

不活性ガスを満たしたクラスター生成空間において、クラスターの原料となるターゲットを蒸発させて、ターゲットの蒸発原子が膨張する状態を生じさせ、膨張する領域と、膨張により不活性ガス領域中に生じた衝撃波または衝撃波がクラスター生成空間の壁に反射した反射衝撃波とにより、それらの混合領域であるクラスター生成領域を形成し、クラスター生成領域内でクラスターを生成させ、生成したクラスターをクラスター生成空間から外部空間に取り出すことを特徴とするクラスター生成方法。

Fターム (3件)：

4K029CA03 ,  4K029DB20 ,  4K029DD03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• クラスター生成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-206418   出願人：動力炉・核燃料開発事業団
• 特開平4-301072
  
• 特開昭63-176463