特許
J-GLOBAL ID：200903070008775455
圧電振動子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167782
公開番号（公開出願番号）：特開2004-015563
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】小型化の可能な圧電振動子の提供を目的とする。【解決手段】音叉型圧電振動片20とその音叉型圧電振動片を取り囲む中間板60とを一体形成しつつ、音叉型圧電振動片20の両表面を中間板60の両表面より内側に配置し、中間板60の両表面に底板44および蓋板48を接合した。また、音叉型圧電振動片20に形成された励振電極に導通する接続電極と、底板44に形成された外部電極に導通するマウント電極とを、金属バンプを介して導通可能とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電振動片の両表面を、前記圧電振動片を取り囲む中間板の両表面より内側に配置しつつ、前記圧電振動片および前記中間板を一体形成し、前記中間板の両表面に底板および蓋板を接合して形成したことを特徴とする圧電振動子。
IPC (4件)：
H03H9/19
, H03H3/02
, H03H9/02
, H03H9/10
H03H9/19 J
, H03H3/02 B
, H03H9/02 D
, H03H9/10
5J108AA00
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF11
, 5J108FF13
, 5J108KK01
